Unidad de bomba de vacío de tornillo Roots para la fabricación de semiconductores

La unidad de bomba de vacío de tornillo Roots combina las ventajas de las bombas Roots y las bombas de tornillo, ofreciendo una solución de vacío limpia, eficiente y sin aceite para aplicaciones industriales y de laboratorio exigentes. Con un diseño de sello de separación y sin aceite lubricante, estas bombas mantienen una alta pureza y un rendimiento excepcional durante todo el funcionamiento.

Principio de funcionamiento de la unidad de bomba de vacío de tornillo Roots

• Bomba de vacío de tornillo (previa):Funciona como bomba de preetapa, proporcionando altas velocidades de bombeo y baja presión de escape. La compresión mecánica mediante espacios precisos entre tornillos garantiza un funcionamiento eficiente, silencioso y con pocas vibraciones.
• Bomba de vacío Roots (principal/intermedia):Dos rotores que giran de forma sincronizada transfieren los gases de escape desde la cámara de succión a la cámara de escape. El sellado por holgura evita la contaminación por aceite, lo que mantiene un entorno de vacío limpio.
• Funcionamiento en serie:Ambas bombas funcionan en serie, con la bomba de tornillo mejorando el nivel de vacío y la bomba Roots garantizando una eficiencia de bombeo estable y continua.

Ventajas de rendimiento

1. Ahorro de energía:La relación optimizada entre la velocidad de bombeo y el grado de vacío reduce el consumo de energía, superando a los sistemas de vacío tradicionales en eficiencia energética.
2. Alta eficiencia:Alcanza una eficiencia de bombeo superior al 90 %, lo que proporciona altos niveles de vacío con un bajo consumo de energía para diversos procesos.
3. Protección de seguridad:El avanzado sistema de control con arranque/parada automáticos, protección contra sobrecargas, sobrecorrientes y corte de agua garantiza la estabilidad a largo plazo.
4. Diseño compacto:El apilamiento vertical o la estructura en escalera minimizan el espacio ocupado, lo que resulta ideal para fábricas y laboratorios con espacio limitado.
5. Configuración flexible:Relación de velocidad de bombeo ajustable entre bombas (1:2 a 1:8) para adaptarse a diversos requisitos de trabajo.
6. Rendimiento anticorrosión:Las superficies de rebose están tratadas o fabricadas con materiales resistentes a la corrosión, adecuados para la extracción de gases corrosivos y el funcionamiento en entornos difíciles.

Campos de aplicación

• Industria química:Extracción de disolventes orgánicos volátiles, gases y para uso en reactores de vacío, ampliamente utilizado en procesos químicos y farmacéuticos.
• Fabricación de semiconductores:Compatible con procesos de deposición al vacío, limpieza y grabado.
• Industria alimentaria:Esencial para los procesos de envasado, deshidratación y secado al vacío de alimentos.
• Industria metalúrgica:Extrae gases en hornos metalúrgicos y laboratorios para estabilizar los procesos de fusión.
• Laboratorio e investigación científica:Ideal para experimentos al vacío y recuperación de gases en entornos científicos.
• Industria electrónica:Se utiliza en la fabricación de circuitos integrados, el recubrimiento al vacío de pantallas y otros procesos de fabricación electrónica.